在半導(dǎo)體制造的超高純工藝中，氣體純度直接決定芯片良率。深圳恒歌推出的 BF 系列大宗氣體專(zhuān)用過(guò)濾器，正是為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線(xiàn)過(guò)濾量身定制的核心設(shè)備。

作為大宗氣體過(guò)濾器的標(biāo)桿產(chǎn)品，其采用全 316L 不銹鋼精密打造，從材質(zhì)源頭確保無(wú)雜質(zhì)釋放，完美適配嚴(yán)苛的半導(dǎo)體潔凈環(huán)境。多柱狀或疊盤(pán)狀介質(zhì)設(shè)計(jì)是其關(guān)鍵優(yōu)勢(shì)，既能實(shí)現(xiàn)高流通量，滿(mǎn)足大產(chǎn)能生產(chǎn)線(xiàn)的氣體供應(yīng)需求，又能保持低阻損，避免因過(guò)濾環(huán)節(jié)影響工藝穩(wěn)定性。針對(duì)不同客戶(hù)的生產(chǎn)線(xiàn)布局與工藝參數(shù)，有特殊需求可定制加工，進(jìn)一步提升設(shè)備與生產(chǎn)環(huán)境的適配性。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

● 整體 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)，杜絕二次污染

● 高通量、低阻力，適配大產(chǎn)能生產(chǎn)需求

● 過(guò)濾精度達(dá) 0.003μm，超高顆粒攔截率

● 耐高溫高壓，應(yīng)對(duì)復(fù)雜工藝環(huán)境

● 100% 完整性與氨氣檢漏測(cè)試

● 支持定制加工，滿(mǎn)足特殊需求